油式真空泵是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的真空泵種類，最主要的特點是真空度高，能滿足新型行業(yè)的特殊工藝要求，其中又以旋片式真空泵和往復(fù)式真空泵為主要代表。隨著時間的推移，社會的進(jìn)步，它們在各種應(yīng)用中的表現(xiàn)越來越不能使人們感到滿意，比如旋片式真空泵不能抽水蒸氣和可凝性氣體及易腐蝕性氣體等，因此，干式真空泵應(yīng)運(yùn)而生。