化工生產(chǎn)中的有些過程，常常需要在低于大氣壓的情況下進(jìn)行。真空泵就是獲得絕對壓力低于大氣壓的機(jī)械設(shè)備。真空泵的結(jié)構(gòu)型式很多，茲將化工廠中常用的幾種真空泵類型介紹如下。
一、往復(fù)真空泵
往復(fù)真空泵的工作原理與往復(fù)壓縮機(jī)基本相同，結(jié)構(gòu)差異也不大，只是所用的閥門必須更加
輕巧，啟閉方便。當(dāng)所需達(dá)到的真空度較高時(shí)，壓縮比很大，余隙中殘留氣體的影響便很大，故真空系的余隙必須很小。為了降低佘隙的影響，在真空泵氣缸左右兩端之間設(shè)置平衡氣道。活塞排氣終了時(shí)，讓平衡氣道連通一個(gè)很短的時(shí)間，使余隙中殘留的氣體從活塞的一側(cè)流到另一側(cè)，從而降低其壓力。
二、水環(huán)真空泵
圓形殼內(nèi)有一偏心安裝的葉輪，泵內(nèi)裝有一定量的水。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，由于離心力的作用，將水甩至殼壁上形成水環(huán)。此水環(huán)起密封作用，把葉片間空隙封閉成許多大小不同的小室。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)到右半部，密封的小室體積逐漸擴(kuò)大，氣體從右邊的吸氣口吸入;轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)到左半部，小室的體積逐漸縮小，氣體便由左邊的排氣口排出。
水環(huán)真空泵所形成的其空度受水溫限制，一般可達(dá)83.4x103Pa左右。該泵也可作鼓風(fēng)機(jī)用，所產(chǎn)生的壓力(表壓)不超過98.07x103Pa.
水環(huán)真空系結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，制造容易，維修方便，又由于旋轉(zhuǎn)部分沒有機(jī)械摩擦，故使用壽命長。
水環(huán)真空泵適于輸送腐蝕性，或易爆性氣體。缺點(diǎn)是效率較低，一般為30~50%。
三、水噴射真空泵
噴射泵的工作流體若為水，則稱為水噴射泵;若為水蒸氣，則稱為蒸氣噴射泵。
單級蒸氣噴射泵壓力可達(dá)0.01MPa,若要達(dá)到更高的真空度，可采用多級噴射系。
噴射真空泵的優(yōu)點(diǎn)是工作壓力范圍廣，抽氣量大，結(jié)構(gòu)簡單。缺點(diǎn)是效率很低。
